90%国产化率，中国最先进EUV光源原型亮相工博会

一台EUV光源原型，国产化率做到了 90% 。据解放日报报道，Landau Suiyan在中国国际工业博览会上公开展示了这台设备，称其为中国目前最先进公开亮相的EUV光源原型。 90%意味着什么？意味着这台原型机的大部分核心部件由国内团队自研，而不是靠外部采购拼装。对于长期被卡在光源这一环的国产芯片产业链来说，这个数字本身就是信息。 和全球头部玩家同一条技术路线 更值得关注的是架构选择。报道显示，这台原型机采用了与全球行业头部企业相同的技术架构，并且已经具备进入芯片曝光测试的条件。 架构一致，意味着后续的工艺验证、设备适配、产线对接都有现成的参照系，不用另起一套生态。对于一台还在原型阶段的设备来说，这比单点参数更有分量。 为什么EUV光源这么难 EUV光源是制造 7纳米以下 芯片的三大核心部件之一。长期以来，这一环节被海外垄断，并受到出口管制，被视为中国芯片自主化进程中的关键瓶颈。 换句话说，光刻机整机之外，光源本身就是一道独立的门槛。谁掌握光源，谁才有资格谈下一代制程的自主可控。 这次工博会上的公开亮相，至少说明一件事：这条路上已经有团队把原型摆到了台面上，并且给出了一个可以量化的国产化比例。至于它离真正的量产还有多远，报道没有给出时间表。 特别

• • 2026-10-17
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